LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價值：
-
捕捉任意表面形狀。
-
快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
-
使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
-
測量具有挑戰(zhàn)性的樣品。
價值1：捕捉任意表面形狀。
OLS5000顯微鏡的先進(jìn)技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。
價值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)
該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，*終實現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。
價值3、使用簡單，只需放置樣品并按一下按鈕即可
LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。
價值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品
低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品，而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時，您只需將樣品放在載物臺上即可。
[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。
[405納米激光光源]
光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得**的橫向分辨率。
[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像
[X-Y掃描儀]
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的**X-Y掃描。
[高度測量原理]
在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點位置（Z）和檢測光強(qiáng)度（I）可以估算每個像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴(kuò)展圖像）。
主機(jī)規(guī)格：
|
型號
|
OLS5000-SAF
|
OLS5000-SMF
|
OLS5000-LAF
|
OLS5000-EAF
|
OLS5000-EMF
|
|
總倍率
|
54x - 17,280x
|
|
視場直徑
|
16 μm - 5,120 μm
|
|
測量原理
|
光學(xué)系統(tǒng)
|
反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
彩色
彩色DIC
|
|
光接收元件
|
激光：光電倍增管（2ch）
色彩：CMOS 彩色相機(jī)
|
|
高度測量
|
顯示分辨率
|
0.5 納米
|
|
動態(tài)范圍
|
16 位
|
|
可重復(fù)性 n-1 *1 *2 *6
|
20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm
|
|
精度 *1 *3 *6
|
測量值 +/- 1.5%
|
|
拼接圖像精度 *1 *4 *6
|
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
|
|
測量噪聲（SQ 噪聲）*1 *5 *6
|
1 納米
|
|
寬度測量
|
顯示分辨率
|
1 納米
|
|
可重復(fù)性 3 n-1 *1 *6
|
20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm
|
|
精度 *1 *3 *6
|
測量值 +/- 1.5%
|
|
拼接圖像精度 *1 *3 *6
|
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm])
|
|
單次測量時測量點的*大數(shù)量
|
4096 x 4096 像素
|
|
測量點的*大數(shù)量
|
3600 萬像素
|
|
XY 載物臺配置
|
長度測量模塊
|
?
|
無
|
無
|
?
|
無
|
|
工作范圍
|
100 x 100 mm 電動
|
100 x 100 mm 手動
|
300 x 300 mm 電動
|
100 x 100 mm 電動
|
100 x 100 mm 手動
|
|
*大樣品高度
|
100 mm
|
30 mm
|
30 mm
|
210 mm
|
140 mm
|
|
激光光源
|
波長
|
405 nm
|
|
|
*大輸出
|
0.95 mW
|
|
|
激光分類
|
2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
|
|
|
彩色光源
|
白光 LED
|
|
電氣功率
|
240 W
|
240 W
|
278 W
|
240 W
|
240 W
|
|
質(zhì)量
|
顯微鏡主體
|
約 31 公斤
|
約 30 公斤
|
約 50 公斤
|
約 43 公斤
|
約 39 公斤
|
|
控制器
|
約 12 公斤
|
